ALC-3000V

本コントローラは、2台の画像処理装置（IV－S20シャープ製）を使用し、アライメントマークの位置データを取得、X、Y、θのズレ量を計算してU,V,Wの３軸のパルスモータ（サーボモータ）で制御される座標系に変換して位置決めを行うコントローラです。
原点復帰、アライメント指令、手動操作等、外部入力信号によって遠隔制御することができます。
また本コントローラは、1台でアライメントユニット2台まで制御できるタイプ（ALC‐6000V）も有ります。

ALC-3000Vの仕様

取付け画像処理系、アライメントテーブルの分解能等により異なりますが、視野角10mm□で±10μm程度の精度で位置決めする事が可能です。
プリアライメントをする事により、視野角を狭くする事で精度を上げることが可能です。

ALC-3000Vの特徴

■ カメラの取付け位置、座標の旋回等の微調整は要りません。
■ オートキャリブレーションにより、座標系を演算し求めます。

ALC-3000Vの用途

■ 基板露光機用位置決め
■ 基板貼り合せ用位置決め
■ FPC等の精密型抜き用位置決め

システム構成